咨詢熱線
13810961731
13810961731
追求合作共贏
Win win for you and me售前售中售后完整的服務(wù)體系
誠信經(jīng)營質(zhì)量保障價格合理服務(wù)完善
當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品展示 > > 沉積系統(tǒng) > 電漿原子層沉積設(shè)備
簡要描述：電漿原子層沉積設(shè)備是一種基于常規(guī)ALD的先進(jìn)方法，其利用電漿作為裂化前驅(qū)物材料的條件，而不是僅依靠來自加熱基板的熱能。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-07-10訪 問 量：606產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子 |
|---|
電漿原子層沉積設(shè)備（PEALD）是一種基於常規(guī)ALD的先進(jìn)方法，其利用電漿作為裂化前驅(qū)物材料的條件，而不是僅依靠來自加熱基板的熱能。 製程中只需靠電漿來進(jìn)行裂化前驅(qū)物材料，無需高溫來傳遞必要的活化能。SYSKEY的系統(tǒng)可以精準(zhǔn)的控制電漿與ALD的製程，薄膜的厚度和均勻度皆+/- 1％。
電漿原子層沉積設(shè)備參數(shù)：
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 腔體 |
|
|
| 配置和優(yōu)點(diǎn) | 選件 |
|
|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 腔體 |
|
|
| 配置和優(yōu)點(diǎn) | 選件 |
|
|
產(chǎn)品咨詢
