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簡(jiǎn)要描述:電子束蒸鍍?cè)O(shè)備是一種實(shí)用且高度可靠的系統(tǒng)。我們的系統(tǒng)可針對(duì)量產(chǎn)使用單一坩堝也可以有多個(gè)坩堝來(lái)達(dá)到產(chǎn)品多層膜結(jié)構(gòu)。在基板乘載上我們對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體研究和大型設(shè)備設(shè)計(jì)。單片和多片公自轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)可以控制蒸發(fā)速率,薄膜厚度和均勻度小於+/- 3%。
產(chǎn)品分類
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品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子 |
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電子束蒸鍍?cè)O(shè)備介紹
SYSKEY的電子束沉積是一種實(shí)用且高度可靠的系統(tǒng)。我們的系統(tǒng)可針對(duì)量產(chǎn)使用單一坩堝也可以有多個(gè)坩堝來(lái)達(dá)到產(chǎn)品多層膜結(jié)構(gòu)。在基板乘載上我們對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體研究和大型設(shè)備設(shè)計(jì)。單片和多片公自轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)可以控制蒸發(fā)速率,薄膜厚度和均勻度小於+/- 3%。
電子束蒸鍍?cè)O(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域 | 腔體 |
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配置和優(yōu)點(diǎn) | 選件 |
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